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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Siliziumcarbid-Bildung auf Silizium unter den Bedingungen der Molekularstrahlepitaxie Beteiligte: Scharmann, Friedhelm [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: RVK-Notation: ZN 4160 : Epitaxieverfahren Schlagwörter: Siliciumcarbid > Molekularstrahlepitaxie > Silicium > Halbleitersubstrat > Online-Publikation Entstehung: Hochschulschrift: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2002 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang