Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen

Medientyp: E-Book; Hochschulschrift

Titel: Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen

Beteiligte: Telgheder, Ursula [Verfasser:in]

Umfang: Online-Ressource

Sprache: Deutsch

Identifikator:

Schlagwörter: Halbleitertechnologie > Gasphasenreaktion > Gasanalyse > Spurenelement > Atomabsorptionsspektroskopie > Online-Publikation
Halbleitertechnologie > Gasphasenreaktion > Gasanalyse > Spurenelement > Atomemissionsspektroskopie > Online-Publikation

Entstehung:

Hochschulschrift: Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005

Anmerkungen:

Zugangsstatus: Freier Zugang

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