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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Neuartige Metallelektroden und Dielektrika für die MOS-Technologie Beteiligte: Schmidt, Matthias [Verfasser:in] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: MOS ; Gate <Elektronik> ; Niob ; Niobnitride ; Dielektrikum ; Siliciumdioxid ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2005 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang