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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente Beteiligte: Heuer, Henning [Verfasser:in] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Tantal ; Solarzelle ; Verkapselung ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Cottbus, Techn. Univ., Diss., 2006 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang