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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle Beteiligte: Wiegand, Susanne [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2007 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang