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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Regelungstechnische Analyse und Synthese von MEMS mit elektrostatischem Wirkprinzip Beteiligte: Wolfram, Heiko [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Beschleunigungssensor > MEMS > Elektrostatik > Reglerentwurf > Adaptivregelung > Ljapunov-Stabilitätstheorie Entstehung: Hochschulschrift: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2007 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang