> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen Beteiligte: Schulze, Knut [Verfasser:in] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Finite-Elemente-Methode ; Flusssäure ; Halbleitertechnologie ; Low-k-Dielektrikum ; Opferschicht ; Spacer ; Technologie ; Verdrahtung ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang