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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Polarisationseffekte in Gruppe-(III)-Nitriden und deren Anwendung in p-Kanal-FETs und elektromechanischen Strukturen Beteiligte: Zimmermann, Tom [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: MEMS ; p-Kanal-FET ; Sensor ; Nanoelektromechanik ; Feldeffekttransistor ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Ulm, Univ., Diss., 2008 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang