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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Hochtemperaturstabile Mikroheizer für miniaturisierte Sensorsysteme Beteiligte: Spannhake, Jan [Verfasser:in] Erschienen: Ilmenau: Univ.-Verl., 2009 Online-Ausg.:, Ilmenau: Univ.-Bibliothek, 2009 Umfang: XVII, 164 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm, 300 gr Sprache: Deutsch ISBN: 9783939473466 Identifikator: Schlagwörter: Heizelement > Siliciumcarbid > Zinnoxide > Dotierung > Antimon > Dünne Schicht Gassensor > Heizelement > Mikrosystemtechnik Art der Reproduktion: Online-Ausg.: Hersteller der Reproduktion: Ilmenau: Univ.-Bibliothek, 2009 Reproduktionsnotiz: [Online-Ausg.] Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2008 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang