DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE,
German Commission for Electrical, Electronic and Information Technologies of DIN and VDE,
DIN Deutsches Institut für Normung e. V.,
DIN German Institute for Standardization
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Medientyp:
Norm
Titel:
DIN EN 62047-20
:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 20: Gyroskope (IEC 62047-20:2014); Deutsche Fassung EN 62047-20:2014
Weitere Titel:
Früher unter dem Titel: DIN EN 62047-20 (2012-07)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 20: Gyroscopes (IEC 62047-20:2014); German version EN 62047-20:2014
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 20: Gyroscopes (CEI 62047-20:2014); Version allemande EN 62047-20:2014
Beschreibung:
In diesem Dokument sind Begriffe, Bemessungen und Kenngrößen sowie Messverfahren für Gyroskope (Drehratensensoren) festgelegt, welche im Wesentlichen in der MEMS-Technologie gefertigt werden.