VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik,
VDI/VDE Society Measurement and Automation,
VDI Verein Deutscher Ingenieure e.V.,
VDI - The Association of German Engineers
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Medientyp:
Norm
Titel:
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
:
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
Weitere Titel:
Früher unter dem Titel: VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 (2018-03)
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement