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Medientyp: E-Artikel Titel: Optimizing a Cantilever Measurement System towards High Speed, Nonreactive Contact-Resonance-Profilometry Beteiligte: Michael Fahrbach; Linus Krieg; Tobias Voss; Maik Bertke; Jiushuai Xu; Erwin Peiner Erschienen: 2018 Erschienen in: Proceedings Sprache: Englisch DOI: 10.3390/proceedings2130889 ISSN: 2504-3900 Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang