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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Helium Ion Microscopy: a New Technique for Semiconductor Metrology and Nanotechnology Beteiligte: Postek, Michael T.; Vladar, Andras E.; Kramar, John; Stern, Lewis A.; Notte, John; McVey, Sean; Seiler, David G.; Diebold, Alain C.; McDonald, Robert; Garner, C. Michael; Herr, Dan; Khosla, Rajinder P.; Secula, Erik M. Erschienen: AIP, 2007 Erschienen in: AIP Conference Proceedings, 931 (2007), Seite 161-167 Umfang: 161-167 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1063/1.2799363 ISSN: 0094-243X Entstehung: Anmerkungen: