• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Enabling Solutions for 28 nm CMOS Advanced Junction Formation
  • Beteiligte: Li, C. I.; Kuo, P.; Lai, H. H.; Ma, K.; Liu, R.; Wu, H. H.; Chan, M.; Yang, C. L.; Wu, J. Y.; Guo, B. N.; Colombeau, B.; Thirumal, T.; Arevalo, E.; Toh, T.; Shim, K. H.; Sun, H. L.; Wu, T.; Lu, S.; Matsuo, Jiro; Kase, Masataka; Aoki, Takaaki; Seki, Toshio
  • Erschienen: AIP, 2011
  • Erschienen in: AIP Conference Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1063/1.3548450
  • ISSN: 0094-243X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: