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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Comparison of TiO2 active area of gas sensors enhanced by annealing and RIE etching Beteiligte: Nemec, Pavol; Hotový, Ivan; Andok, Robert; Kostič, Ivan Erschienen: AIP Publishing, 2019 Erschienen in: APPLIED PHYSICS OF CONDENSED MATTER (APCOM 2019) (2019) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1063/1.5119484 ISSN: 0094-243X Entstehung: Anmerkungen: