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Medientyp:
Elektronischer Konferenzbericht
Titel:
The formation of porous structure in silicon by the methods of metal-assisted chemical etching and electrochemical etching
Beteiligte:
Krukovskii, Konstantin V.;
Kashin, Oleg A.;
Lotkov, Alexander I.
Erschienen:
AIP Publishing, 2019
Erschienen in:PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED MATERIALS WITH HIERARCHICAL STRUCTURE FOR NEW TECHNOLOGIES AND RELIABLE STRUCTURES 2019