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Medientyp: E-Artikel Titel: High Quality Silicon-Based AlN Thin Films for MEMS Application Beteiligte: Yu, Yi; Ren, Tian-Ling; Liu, Li-Tian Erschienen: Informa UK Limited, 2005 Erschienen in: Integrated Ferroelectrics, 69 (2005) 1, Seite 367-374 Sprache: Englisch DOI: 10.1080/10584580590899405 ISSN: 1058-4587; 1607-8489 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Ceramics and Composites ; Control and Systems Engineering ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: