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Medientyp: E-Artikel Titel: DESIGN OF A NOVEL PIEZOELECTRIC ACOUSTIC SENSOR USING SURFACE MICROMACHINING Beteiligte: YANG, YI; REN, TIAN-LING; LIU, LI-TIAN Erschienen: Informa UK Limited, 2006 Erschienen in: Integrated Ferroelectrics, 80 (2006) 1, Seite 363-372 Sprache: Englisch DOI: 10.1080/10584580600660199 ISSN: 1058-4587; 1607-8489 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Ceramics and Composites ; Control and Systems Engineering ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: