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Medientyp: E-Artikel Titel: The effects of PECVD silicon dioxide passivation on the electrical characteristics of Sol-Gel deposited PZT film capacitors Beteiligte: Rod, Bernard J.; McCullen, Judith; Moore, Randall A.; Terrell, Jonathan Erschienen: Informa UK Limited, 1994 Erschienen in: Integrated Ferroelectrics Sprache: Englisch DOI: 10.1080/10584589408018670 ISSN: 1058-4587; 1607-8489 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Ceramics and Composites ; Control and Systems Engineering ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: