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Medientyp: E-Artikel Titel: Effects of substrate bias on structure and mechanical properties of (AlCrNbSiTiV)N coatings Beteiligte: Huang, Ping-Kang; Yeh, Jien-Wei Erschienen: IOP Publishing, 2009 Erschienen in: Journal of Physics D: Applied Physics, 42 (2009) 11, Seite 115401 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1088/0022-3727/42/11/115401 ISSN: 0022-3727; 1361-6463 Entstehung: Anmerkungen: