The effects of synchrotron x-rays on the local structure and the recrystallization of ion damaged Si

Medientyp: E-Artikel
Titel: The effects of synchrotron x-rays on the local structure and the recrystallization of ion damaged Si
Beteiligte: Yu, Kin Man; Wang, Lei; Walukiewicz, W
Erschienen: IOP Publishing, 1997
Erschienen in: Semiconductor Science and Technology, 12 (1997) 4, Seite 460-463
Sprache: Nicht zu entscheiden
DOI: 10.1088/0268-1242/12/4/021
ISSN: 1361-6641; 0268-1242
Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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