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Medientyp: E-Artikel Titel: Auto focus and image registration techniques for infrared imaging of microelectronic devices Beteiligte: Florian, Daniela; Köck, Helmut; Plankensteiner, Kathrin; Glavanovics, Michael Erschienen: IOP Publishing, 2013 Erschienen in: Measurement Science and Technology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0957-0233/24/7/074020 ISSN: 0957-0233; 1361-6501 Schlagwörter: Applied Mathematics ; Instrumentation ; Engineering (miscellaneous) Entstehung: Anmerkungen: