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Medientyp: E-Artikel Titel: Polymer micro piezo valve with a small dead volume Beteiligte: Shao, Peige; Rummler, Zeno; Schomburg, Werner Karl Erschienen: IOP Publishing, 2004 Erschienen in: Journal of Micromechanics and Microengineering Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0960-1317/14/2/020 ISSN: 0960-1317; 1361-6439 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: