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Medientyp: E-Artikel Titel: Dual structural polysilicon BiFET-compatible surface micromachining module Beteiligte: Drieënhuizen, B P van; Goosen, J F L; Li, Y X; Bartek, M; French, P J; Sarro, P M; Wolffenbuttel, R F Erschienen: IOP Publishing, 1997 Erschienen in: Journal of Micromechanics and Microengineering, 7 (1997) 3, Seite 148-150 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0960-1317/7/3/018 ISSN: 0960-1317; 1361-6439 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: