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Medientyp: E-Artikel Titel: Space-averaged kinetic analysis of stochastically heated electropositive and electronegative rf capacitive discharges Beteiligte: Wang, Zuoding; Lichtenberg, Allan J; Cohen, Ronald H Erschienen: IOP Publishing, 1999 Erschienen in: Plasma Sources Science and Technology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0963-0252/8/1/018 ISSN: 0963-0252; 1361-6595 Schlagwörter: Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: