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Medientyp: E-Artikel Titel: A MEMS nanoindenter with an integrated AFM cantilever gripper for nanomechanical characterization of compliant materials Beteiligte: Li, Z; Gao, S; Brand, U; Hiller, K; Wolff, H Erschienen: IOP Publishing, 2020 Erschienen in: Nanotechnology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1361-6528/ab88ed ISSN: 0957-4484; 1361-6528 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; General Materials Science ; General Chemistry ; Bioengineering Entstehung: Anmerkungen: