• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Machine learning plasma-surface interface for coupling sputtering and gas-phase transport simulations
  • Beteiligte: Krüger, Florian; Gergs, Tobias; Trieschmann, Jan
  • Erschienen: IOP Publishing, 2019
  • Erschienen in: Plasma Sources Science and Technology, 28 (2019) 3, Seite 035002
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1088/1361-6595/ab0246
  • ISSN: 1361-6595
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  • Hochschulschrift:
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