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Medientyp: E-Artikel Titel: Machine learning plasma-surface interface for coupling sputtering and gas-phase transport simulations Beteiligte: Krüger, Florian; Gergs, Tobias; Trieschmann, Jan Erschienen: IOP Publishing, 2019 Erschienen in: Plasma Sources Science and Technology, 28 (2019) 3, Seite 035002 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1361-6595/ab0246 ISSN: 1361-6595 Entstehung: Hochschulschrift: Anmerkungen: