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Medientyp: E-Artikel Titel: Impact of charged species transport coefficients on self-bias voltage in an electrically asymmetric RF discharge Beteiligte: Orlac’h, Jean-Maxime; Novikova, Tatiana; Giovangigli, Vincent; Johnson, Erik; Cabarrocas, Pere Roca i Erschienen: IOP Publishing, 2019 Erschienen in: Plasma Sources Science and Technology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1361-6595/ab067d ISSN: 1361-6595 Schlagwörter: Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: