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Medientyp: E-Artikel Titel: Impact of nickel silicide on SiGe BiCMOS devices Beteiligte: Wolansky, Dirk; Grabolla, Thomas; Lenke, Thomas; Schulze, Sebastian; Zaumseil, Peter Erschienen: IOP Publishing, 2018 Erschienen in: Semiconductor Science and Technology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1361-6641/aae612 ISSN: 0268-1242; 1361-6641 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: