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Medientyp: E-Artikel Titel: 24 GHz RF-MEMS Phase Shifter with Non-Galvanic Electromagnetic Coupling Fabricated in Silicon-Bulk Technology Beteiligte: Voigt, Sebastian; Leidich, Stefan; Doetzel, Wolfram; Kurth, Steffen; Gessner, Thomas Erschienen: IOP Publishing, 2006 Erschienen in: Journal of Physics: Conference Series Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1742-6596/34/1/038 ISSN: 1742-6588; 1742-6596 Schlagwörter: General Physics and Astronomy Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang