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Medientyp: E-Artikel Titel: Focused ion beam milling for the fabrication of 160 nm channel length IGZO TFTs on flexible polymer substrates Beteiligte: Münzenrieder, Niko; Shorubalko, Ivan; Petti, Luisa; Cantarella, Giuseppe; Shkodra, Bajramshahe; Meister, Tilo; Ishida, Koichi; Carta, Corrado; Ellinger, Frank; Tröster, Gerhard Erschienen: IOP Publishing, 2020 Erschienen in: Flexible and Printed Electronics Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/2058-8585/ab639f ISSN: 2058-8585 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: