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Medientyp: E-Artikel Titel: Plasma deposition technology for solar cell manufacturing Beteiligte: Roth, Silvia Erschienen: Wiley, 2006 Erschienen in: Vakuum in Forschung und Praxis Sprache: Deutsch DOI: 10.1002/vipr.200690023 ISSN: 0947-076X; 1522-2454 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: