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Medientyp: E-Artikel Titel: Microelectromechanical Systems: All‐Oxide Crystalline Microelectromechanical Systems: Bending the Functionalities of Transition‐Metal Oxide Thin Films (Adv. Mater. 23/2009) Beteiligte: Pellegrino, Luca; Biasotti, Michele; Bellingeri, Emilio; Bernini, Cristina; Siri, Antonio Sergio; Marré, Daniele Erschienen: Wiley, 2009 Erschienen in: Advanced Materials, 21 (2009) 23 Sprache: Englisch DOI: 10.1002/adma.200990089 ISSN: 0935-9648; 1521-4095 Schlagwörter: Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: