Featuring thin films. Handbook of Thin Film Process Technology. Edited by D. A. Glocker and S. I. Shah, Institute of Physics, Bristol 1995, XII, 798 pp., ring‐bound softcover, £300, ISBN 0–7503–0311–5
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Medientyp:
E-Artikel
Titel:
Featuring thin films. Handbook of Thin Film Process Technology. Edited by D. A. Glocker and S. I. Shah, Institute of Physics, Bristol 1995, XII, 798 pp., ring‐bound softcover, £300, ISBN 0–7503–0311–5
Beteiligte:
Hitchman, Michael L.
Erschienen:
Wiley, 1997
Erschienen in:
Chemical Vapor Deposition, 3 (1997) 3, Seite 144-145