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Medientyp: E-Artikel Titel: Diffusion of ion-implanted phosphorus in silicon Beteiligte: Chelyadinskii, A. R.; Taher, H. I. Haki Erschienen: Wiley, 1994 Erschienen in: Physica Status Solidi (a), 142 (1994) 2, Seite 331-338 Sprache: Deutsch DOI: 10.1002/pssa.2211420205 ISSN: 0031-8965; 1521-396X Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: