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Medientyp: E-Artikel Titel: Chemical vapour deposition of Si3N4 from a gas mixture of Si2Cl6, NH3 and H2 Beteiligte: Motojima, Seiji; Iwamori, Noriyuki; Hattori, Tatsuhiko Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 1986 Erschienen in: Journal of Materials Science Sprache: Englisch DOI: 10.1007/bf00553436 ISSN: 0022-2461; 1573-4803 Schlagwörter: Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: