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Medientyp: E-Artikel Titel: Interstitial type defects in implanted silicon Beteiligte: Berezhnov, N. I.; Stel'makh, V. F.; Chelyadinskii, A. R. Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 1984 Erschienen in: Soviet Physics Journal, 27 (1984) 7, Seite 608-611 Sprache: Englisch DOI: 10.1007/bf00897459 ISSN: 0038-5697; 1573-9228 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; General Physics and Astronomy Entstehung: Anmerkungen: