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Medientyp: E-Artikel Titel: The P300: A system for automatic patterned wafer inspection Beteiligte: Dom, Byron E.; Brecher, Virginia H.; Bonner, Raymond; Batchelder, John S.; Jaffe, Robert S. Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 1988 Erschienen in: Machine Vision and Applications Sprache: Englisch DOI: 10.1007/bf01212360 ISSN: 0932-8092; 1432-1769 Schlagwörter: Computer Science Applications ; Computer Vision and Pattern Recognition ; Hardware and Architecture ; Software Entstehung: Anmerkungen: