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Medientyp: E-Artikel Titel: A new microtensile tester for the study of MEMS materials with the aid of atomic force microscopy Beteiligte: Chasiotis, Ioannis; Knauss, Wolfgang G. Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2002 Erschienen in: Experimental Mechanics Sprache: Englisch DOI: 10.1007/bf02411051 ISSN: 0014-4851; 1741-2765 Entstehung: Anmerkungen: