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Medientyp: E-Artikel Titel: Simox technology and its application to CMOS LSIS Beteiligte: Izumi, K.; Ōmura, Y.; Sakai, T. Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 1983 Erschienen in: Journal of Electronic Materials Sprache: Englisch DOI: 10.1007/bf02655298 ISSN: 0361-5235; 1543-186X Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: