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Medientyp: E-Artikel Titel: Focussed ion beam based fabrication of micro-electro-mechanical resonators Beteiligte: Grogg, Daniel; Badila-Ciressan, Nicoleta Diana; Ionescu, Adrian Mihai Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2008 Erschienen in: Microsystem Technologies, 14 (2008) 7, Seite 1049-1053 Sprache: Englisch DOI: 10.1007/s00542-007-0464-4 ISSN: 0946-7076; 1432-1858 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Hardware and Architecture ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: