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Medientyp: E-Artikel Titel: Design and performance analysis of uniform meander structured RF MEMS capacitive shunt switch along with perforations Beteiligte: Ravirala, Akshay Kumar; Bethapudi, Leela Koteswari; Kommareddy, Jeevani; Thommandru, Bhanu Sai; Jasti, Sateesh; Gorantla, Prakash Raju; Puli, Ashok; Karumuri, Girija Sravani; Karumuri, Srinivasa Rao Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2018 Erschienen in: Microsystem Technologies Sprache: Englisch DOI: 10.1007/s00542-017-3403-z ISSN: 0946-7076; 1432-1858 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Hardware and Architecture ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: