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Medientyp: E-Artikel Titel: Fabrication of high precision X-ray mask for X-ray grating of X-ray Talbot interferometer Beteiligte: Noda, Daiji; Tsujii, Hiroshi; Takahashi, Naoki; Hattori, Tadashi Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2010 Erschienen in: Microsystem Technologies Sprache: Englisch DOI: 10.1007/s00542-010-1085-x ISSN: 0946-7076; 1432-1858 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Hardware and Architecture ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: