• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Nickel silicide as a contact material for submicron CMOS devices
  • Beteiligte: Chi, D. Z.; Mangelinck, D.; Zuruzi, A. S.; Wong, A. S. W.; Lahiri, S. K.
  • Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2001
  • Erschienen in: Journal of Electronic Materials
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1007/s11664-001-0162-4
  • ISSN: 0361-5235; 1543-186X
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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