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Medientyp: E-Artikel Titel: Nickel silicide as a contact material for submicron CMOS devices Beteiligte: Chi, D. Z.; Mangelinck, D.; Zuruzi, A. S.; Wong, A. S. W.; Lahiri, S. K. Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2001 Erschienen in: Journal of Electronic Materials Sprache: Englisch DOI: 10.1007/s11664-001-0162-4 ISSN: 0361-5235; 1543-186X Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: