• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: R.F. diode sputtering in permanent-match mode
  • Beteiligte: Christensen, Orla; Olsen, Ole H.; Holm, Niels Erik; Sørensen, Jens
  • Erschienen: Elsevier BV, 1983
  • Erschienen in: Thin Solid Films, 100 (1983) 3, Seite 181-191
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0040-6090(83)90275-4
  • ISSN: 0040-6090
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: