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Medientyp: E-Artikel Titel: R.F. diode sputtering in permanent-match mode Beteiligte: Christensen, Orla; Olsen, Ole H.; Holm, Niels Erik; Sørensen, Jens Erschienen: Elsevier BV, 1983 Erschienen in: Thin Solid Films, 100 (1983) 3, Seite 181-191 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0040-6090(83)90275-4 ISSN: 0040-6090 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: