• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: The structure and electromigration behaviour of aluminium films deposited by the partially ionized beam technique
  • Beteiligte: Fionova, L.K.; Kononenko, O.V.; Matveev, V.N.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1993
  • Erschienen in: Thin Solid Films, 227 (1993) 1, Seite 54-58
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0040-6090(93)90186-s
  • ISSN: 0040-6090
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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