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Medientyp: E-Artikel Titel: Investigation of arsenic-implanted silicon by optical reflectometry Beteiligte: Stavrov, V.I.; Varbanov, R.; Vasiliev, O.; Berova, D. Erschienen: Elsevier BV, 1991 Erschienen in: Vacuum Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0042-207x(91)90088-z ISSN: 0042-207X Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Instrumentation Entstehung: Anmerkungen: