• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Investigation of arsenic-implanted silicon by optical reflectometry
  • Beteiligte: Stavrov, V.I.; Varbanov, R.; Vasiliev, O.; Berova, D.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1991
  • Erschienen in: Vacuum
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0042-207x(91)90088-z
  • ISSN: 0042-207X
  • Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Instrumentation
  • Entstehung:
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