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Medientyp: E-Artikel Titel: Thin-film SOI devices: A perspective Beteiligte: Colinge, J.P. Erschienen: Elsevier BV, 1988 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0167-9317(88)90013-5 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: