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Medientyp: E-Artikel Titel: Manufacturability of 3D-epitaxial-lateral-overgrowth CMOS circuits with three stacked channels Beteiligte: Roos, Gerhard; Hoefflinger, Bernd; Schubert, Martin; Zingg, René Erschienen: Elsevier BV, 1991 Erschienen in: Microelectronic Engineering, 15 (1991) 1-4, Seite 191-194 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0167-9317(91)90210-5 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: