• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Manufacturability of 3D-epitaxial-lateral-overgrowth CMOS circuits with three stacked channels
  • Beteiligte: Roos, Gerhard; Hoefflinger, Bernd; Schubert, Martin; Zingg, René
  • Erschienen: Elsevier BV, 1991
  • Erschienen in: Microelectronic Engineering, 15 (1991) 1-4, Seite 191-194
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0167-9317(91)90210-5
  • ISSN: 0167-9317
  • Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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