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Medientyp: E-Artikel Titel: Formation of buried nitride layers by ion implantation Beteiligte: Danilowitsch, J.; Gärtner, K.; Götz, G. Erschienen: Elsevier BV, 1988 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 32 (1988) 1-4, Seite 437-439 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(88)90252-2 ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: