• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Formation of buried nitride layers by ion implantation
  • Beteiligte: Danilowitsch, J.; Gärtner, K.; Götz, G.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1988
  • Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 32 (1988) 1-4, Seite 437-439
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0168-583x(88)90252-2
  • ISSN: 0168-583X
  • Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics
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